S500系列
·雙屏顯示，支持量程調(diào)整
·快速響應(yīng)，高精度
·配備專用上位機，認證產(chǎn)品
S500系列
S500系列
產(chǎn)品規(guī)格
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基本參數(shù) |
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介質(zhì)要求 |
潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
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介質(zhì)種類 |
空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、氦氣、氫氣、甲烷、氬氣等 |
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量程1 |
(0~20,50,100,200,500)sccm |
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精度 |
±0.3%F.S.2 (≤30%F.S.) |
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量程比 |
100:1 |
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響應(yīng)時間4 |
≤0.5s |
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重復(fù)精度 |
≤±0.2%F.S. |
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分辨率 |
0.001sccm, ≤20sccm |
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漏率 |
≤1×10-10Pam³/sHe |
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最大耐壓 |
9.8bar |
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環(huán)境條件 |
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工作溫度 |
0~50℃ |
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工作濕度 |
10%~90%R.H.(無結(jié)冰、無凝霜) |
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工作壓力5 |
0.5~4bar,>2slm |
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儲存溫度 |
-20~85℃ |
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電氣參數(shù) |
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供電電壓 |
DC24V |
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功耗 |
≤4.0W |
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啟動時間 |
≤1s |
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通信接口 |
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接口類型 |
D-SUB9、RJ45 |
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模擬控制 |
0-5V或4-20mA |
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數(shù)字控制 |
RS485或RS232 |
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數(shù)字信號(RS485或RS232) |
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接口類型 |
D-SUB9或RJ45 |
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通信速率 |
9600,38400,115200(默認) |
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協(xié)議 |
Modbus-RTU |
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設(shè)備地址 |
1(默認)~99 |
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機械參數(shù) |
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接頭類型 |
卡套：1/4inch |
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氣體接觸 |
316L不銹鋼、氟橡膠、二氧化硅 |
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主體材質(zhì) |
底座：316L不銹鋼 |
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密封材質(zhì) |
FKM氟橡膠 |
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重量 |
0.95kg |
備注
● 除非另有說明，本產(chǎn)品標定于以下條件:氮氣、25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5barA，出氣口 1barA)、水平放置。
● 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段，否則可能會引起精度產(chǎn)生偏差。
● 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭，以避免導(dǎo)致額外的壓損。
1. 所示量程為氮氣可選量程。
2. %F.S.指誤差占滿量程的百分比。
3. %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。
4. 響應(yīng)時間指達到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時間。
5. 工作壓力指進氣口與出氣口之間的差壓。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體
光伏
真空鍍膜
關(guān)鍵詞：
芯笙值得信賴
完善的技術(shù)、過硬的質(zhì)量、獨特的服務(wù)，始終引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展
