青島芯笙推出多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器產(chǎn)品
發(fā)布時(shí)間：
2022-03-07
概要
青島芯笙近期推出多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，成功打通從MEMS芯片到流量檢測儀表和算法的全鏈條核心技術(shù)，成為青島市僅有的幾家掌握MEMS核心芯片技術(shù)的高科技企業(yè)之一。
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，青島芯笙微納電子科技有限公司（中文簡稱：青島芯笙，英文簡稱：Xinnovis）專注于微小氣體流量測控產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)。近期，青島芯笙采用工業(yè)級MEMS流量傳感器解決方案，開發(fā)出下一代高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品，主要面向分析儀器、實(shí)驗(yàn)室、氫能，以及真空鍍膜等應(yīng)用市場。
圖1 青島芯笙S500系列氣體質(zhì)量流量控制器（左）和MFM-50系列氣體質(zhì)量流量計(jì)（右）
隨著國家對國產(chǎn)儀器和半導(dǎo)體設(shè)備的重視和支持，國內(nèi)分析儀器產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了快速發(fā)展。作為分析儀器和半導(dǎo)體裝備的核心部件，氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器目前仍以進(jìn)口為主，國產(chǎn)化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計(jì)，MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)基于熱傳導(dǎo)原理對氣體質(zhì)量流量進(jìn)行高精確測量，該類型產(chǎn)品不受溫度和壓力等環(huán)境參數(shù)影響，成為全球最為廣泛使用的高精度微小氣體流量測控技術(shù)。
青島芯笙MFM-50系列氣體質(zhì)量流量計(jì)，采用航空級鋁合金基座和Exia IIC T4 Ga本安型防爆設(shè)計(jì)，具有精度高（最低0.5%）、量程比寬（500:1）、響應(yīng)速度快（最快15ms）、溫漂?。?.01% F.S./℃）、性價(jià)比高、一體化集成等優(yōu)點(diǎn)，適用于實(shí)驗(yàn)室安全用氣改造、氫能、生物制藥、釬焊等行業(yè)。
青島芯笙S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有獨(dú)特的氣體流道設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學(xué)信號方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級顯示屏，方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。
青島芯笙WIN M/S系列微型數(shù)字風(fēng)速計(jì)，為國內(nèi)首創(chuàng)產(chǎn)品，采用經(jīng)濟(jì)、緊湊型封裝方式，在8.5mm x 6mm x 3.3mm的封裝體積內(nèi)同時(shí)實(shí)現(xiàn)了溫度和風(fēng)速的測量。該產(chǎn)品可以集成在空調(diào)、新風(fēng)系統(tǒng)、防爆柜、通風(fēng)柜等設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)最大25m/s的風(fēng)速測量，并具有0.02m/s的高分辨率。
“公司雖然在2020年才成立，但我們在MEMS流量傳感器芯片方面已經(jīng)進(jìn)行了八年多的前期研發(fā)。”青島芯笙創(chuàng)始人陶繼方博士介紹，“目前，公司已逐步駛?cè)氚l(fā)展快車道，產(chǎn)品在投入市場后，獲得已獲得一大批客戶的認(rèn)可，其中包括多家大型上市企業(yè)。后續(xù)公司將繼續(xù)加大投入，也更加專注在微小氣體流量測控這一細(xì)分領(lǐng)域，目標(biāo)成為半導(dǎo)體、氣體分析儀等領(lǐng)域的核心零部件供應(yīng)商。”
關(guān)于青島芯笙
青島芯笙位于青島市嶗山區(qū)，毗鄰山東大學(xué)青島校區(qū)、北航青島微電子研究院、中科院青島能源所等研究機(jī)構(gòu)，是一家專業(yè)從事高端氣體流量傳感器和流量測控儀表開發(fā)的高新技術(shù)企業(yè)，公司團(tuán)隊(duì)核心成員來自新加坡、比利時(shí)、中科院等國際著名MEMS研究機(jī)構(gòu)。
公司經(jīng)過2年的努力，先后開發(fā)出微型數(shù)字風(fēng)速計(jì)、氣體質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器等多款產(chǎn)品，目前均已進(jìn)入量產(chǎn)階段。公司將繼續(xù)專注在微小氣體流量測控領(lǐng)域，打造國際一流的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器產(chǎn)品，致力為客戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品和專業(yè)化服務(wù)，共同推動(dòng)國產(chǎn)分析儀器、半導(dǎo)體裝備的發(fā)展。
